Laserinterferometr

laserinterferometr

O přístroji

Laserový interferometrický měřicí systém LASERTEX HPI-3D je velmi kompaktní a jeho nízká hmotnost velmi zjednodušuje transport. Přístroj se hodí především pro kalibrace souřadnicových měřicích strojů (SMS), mikroskopů, délkoměrů, rovinnosti příměrných desek, vedení a pod. Samozřejmostí je moderní uživatelsky příznivý ovládací software. Velmi dobře je řešena i ovládací mechanika nutná pro ustavení.

Technické údaje

Měření Rozsah Rozlišení Přesnost
Vzdálenosti 0 - 30m (50m) 0,0001μm (100pm) 0,41μm/m ve vzduchu 0,9μm/m pro ocel
Rychlosti 0 - 7m/s 0,01μm/s ±0,01%
Měření úhlu 0 - 360° 0,004arcsec ±1arcsec
Rovinnosti* osy 0 - 15m
rovinnosti ±3mm
0,01μm (pro rozteč patek 100mm) ±1% z naměřené hodnoty
±0,03M²μm
Přímosti (s Wollastonem) 0,1 - 3m
0,8 - 10m
0,01μm
0,1μm
±(1% + 0,5 + 0,2M²)μm
Kolmosti (s Wollastonem) ±1000arcsec 0,01μm/m ±(1% + 2,5 + M)μm/m
* - rovinnosti plochy v jedné ose nebo celé desky (diagonální a mřížková metoda)
M - délka měřené osy v metrech, % - procent ze zobrazené hodnoty

Obrázky

Hlavice laseru 3_v 4_v
Mám zájem o více informací