Laserinterferometer

laserinterferometr

O prístroji

Laserový interferometrický merací systém LASERTEX HPI-3D je veľmi kompaktný a jeho nízka hmotnosť veľmi zjednodušuje transport. Prístroj sa hodí najmä na kalibráciu súradnicových meracích strojov (SMS), mikroskopov, dĺžkomerov, rovinnosti prímerných dosiek, vedení a pod. Samozrejmosťou je moderný užívateľsky priaznivý ovládací softvér. Veľmi dobre je riešená aj ovládacia mechanika nutná pre ustavenie.

Technické údaje

Meranie Rozsah Rozlíšenie Presnosť
Vzdialenosti 0 - 30m (50m) 0,0001μm (100pm) 0,41μm/m vo vzduchu 0,9μm/m pre oceľ
Rýchlosti 0 - 7m/s 0,01μm/s ±0,01%
Meranie uhla 0 - 360° 0,004arcsec ±1arcsec
Rovinnosti* osy 0 - 15m
rovinnosti ± 3 mm
0,01μm (pre rozteč pätiek 100 mm) ± 1 % z nameranej hodnoty
±0,03M²μm
Priamosti (s Wollastonom) 0,1 - 3m
0,8 - 10m
0,01μm
0,1μm
±(1% + 0,5 + 0,2M²)μm
Kolmosti (s Wollastonom) ±1000arcsec 0,01μm/m ±(1% + 2,5 + M)μm/m
* – rovinnosti plochy v jednej ose alebo celé dosky (diagonálna a mriežková metóda)
M - dĺžka meranej osy v metroch, % – percent zo zobrazenej hodnoty

Obrázky

Hlavica lasera 3_v 4_v
Mám záujem o viac informácií